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半導體小型化製程技術之新變革

2021.08.26

目前半導體小型化製程技術發展到什麼程度了?鰭式電晶體 (FinFET) 技術以往引領著半導體小型化製程技術,目前環繞式閘極 (Gate All Around, GAA) 技術正在興起,GAA技術在半導體產業中通常被稱為FinFET之後的下一代技術。在FinFET技術中,電流流過的通道包括上側、左側和右側等三邊,而GAA技術則包括四邊,上側、左側、右側和下側。

根據韓國專利局分析五大專利局 (IP5) 之統計,FinFET技術相關之專利申請案件數自2017年開始減少,2017年為1,936件,2018年為1,636件,2019年為1,560件,2020年再減少至1,508件(粗估值)。而GAA技術則呈現成長趨勢,2017年共173件,2018年233件,2019年313件,2020年成長至391件。

申請最多與FinFET技術相關專利的申請人為台積電(佔30.7%)、中芯國際(佔11%)、Samsung Electronics(佔8.6%)、IBM(佔8.1%)和GlobalFoundries(佔5.4%)。申請最多與GAA技術相關專利的申請人為台積電(佔31.4%)、Samsung Electronics(佔20.6%)、IBM(佔10.2%)、GlobalFoundries(佔5.5%)和Intel(佔4.7%)。

資料來源:A new change starts in a semiconductor miniaturization process technology – FinFET has set and GATE-All-Around (GAA) rises, Kim, Hong & Associates News Letter No. 462, August 16, 2021.<http://www.pkkim.com/resources/new.asp?LetterNum=531>

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